微机电系统(MEMS)制造技术.pdf 本书共9章，分别介绍了MEMS制造技术发展历程和发展趋势、MEMS制造材料基础、MEMS制造中的沾污及洁净技术、MEMS制造中的图形转移技术、湿法腐蚀与干法刻蚀技术、氧化扩散与注入、薄膜制备技术、MEMS标准工艺和MEMS封装技术。 叁号仓库 2022年07月16日 0 点赞 0 评论 5836 浏览
