马盛林

TSV三维集成理论、技术与应用 金玉丰,马盛林 著.pdf

后摩尔时代将硅通孔(through silicon via,TSV)技术等先进集成封装技术作为重要发展方向。本书系统介绍作者团队在TSV三维集成方面的研究工作,包括绪论、TSV工艺仿真、TSV工艺、TSV三维互连电学设计、三维集成微系统的热管理方法、三维集成电学测试技术、TSV转