电子材料制造技术实验教程.pdf 全书分上、下两篇，上篇为电子薄膜制备与测试分析，介绍真空技术、镀膜工艺、薄膜生长及其表征技术等基础知识，具体阐述了直流磁控溅射镀膜、真空热阻蒸发制膜、电子束蒸发制膜、射频磁控溅射制膜、薄膜的表征及分析等六个基础实验的内容，并设计了基于薄膜材料的热电偶制作与标定、类电容器结构薄膜器 叁号仓库 2022年07月18日 0 点赞 0 评论 593 浏览
