集成电路芯片

中国电子信息工程科技发展研究 集成电路芯片制造工艺专题.pdf

在集成电路产业中,芯片制造技术是产业链中的核心环节之一。《中国电子信息工程科技发展研究 集成电路芯片制造工艺专题》尝试从芯片大生产制造的角度,介绍芯片制造关键单项工艺和工艺集成技术(与《中国电子信息工程科技发展研究:集成电路产业专题》衔接)。试图以产业发展主流工艺为导向,侧重原理