衬底

新型衬底上蓝/白光 LED外延材料与芯片.pdf

本书系统而完整地介绍了新型衬底材料上高效率LED材料与器件的研究进展,着重介绍了图形衬底、Si衬底、金属衬底、新型氧化物衬底、自支撑GaN衬底和非极性衬底六种新型衬底上的LED外延制备方法,论述了上述新型衬底上LED所具有的优势与面临的难题,阐述了相关的科学与技术问题,并对新型衬

衬底基片超精密加工技术.pdf

本书讲述了光电子领域重要衬底材料——蓝宝石衬底基片的超精密加工技术。内容包括:蓝宝石晶体生长技术、蓝宝石晶体切片技术、蓝宝石衬底基片倒角技术、衬底基片精密研磨技术、衬底基片精密抛光技术、衬底基片净化技术、衬底基片检测技术。详细介绍了蓝宝石衬底基片从晶体生长到可用于外延生长的衬底基