蒋永刚

微纳米制造技术及应用.pdf

本书介绍了微纳米制造领域涉及的各类加工技术及其应用特点。全书共7章,内容涵盖了微细机械加工技术、表面成膜与增材制造技术、半导体工艺及封装技术、微纳压印技术、微纳生物加工成形等。