蒋书文

半导体物理与器件实验教程.pdf

本书分上、下两篇。上篇为半导体物理实验部分,包括晶体结构构建、晶体电子结构仿真与分析、单波长椭偏法测试分析薄膜的厚度与折射率等;下篇为微电子器件实验部分,包括二极管直流参数测试、双极型晶体管直流参数测试、MOS场效应晶体管直流参数测试等。