玉山

准连续介质法在纳米压痕中的应用.pdf

本书主要以纳米压痕过程的多尺度连续介质法为研究对象,分析了国内外该方向的发展趋势,阐明纳米压痕测试技术过程中所面临的主要技术挑战。主要从理论和准连续介质法等方面对纳米压痕过程的初始塑性变形、表面粗糙度、缺陷、晶格各向异性、尺寸效应,以及双层纳米薄膜纳米压痕及界面的影响、微电子机械