桂堂
超大集成电路技术 : 工艺评价.pdf
本书以半导体集成电路制作工艺的监测、检查及反馈为主要内容，深入探讨了工艺技术与物理化学的联系．全书共十一章，分别介绍了集成电路生产中的评价技术和控制方法、应用气相生长进行器件制作的工艺过程中控制和评价，以及应用最新的表面研究方法进行的工艺评价．同时，还介绍了干法工艺的监控法、用测
线性代数与线性规划.pdf
本书是成人高等学校“经济应用数学基础”课程的教材之一. 本书主要介绍线性代数与线性规划的基本概念、方法及应用．本书在保证数学学科的系统性和严密性的前提下，力求选材合理，重点突出，难易适度；论述由浅入深，通俗易懂，每章末备有习题，书后附习题答案，有助于读者进一步掌握