微电子学器件. Ⅰ. 数字器件和工艺.pdf 本书是微电子学讲座第一卷。在这一卷内，作者以支撑微电子学的集成电路技术为中心，较详细地阐述了半导体的基本物理性质，半导体器件的种类和各种半导体器件的工作原理，制造半导体器件和集成电路的材料及工艺技术，典型的双极型和MOS型集成电路的结构，新的Ⅲ-V族半导体和约瑟夫森集成电路等。 叁号仓库 2022年07月17日 0 点赞 0 评论 855 浏览
超大规模集成电子学 : 微结构科学. 第3册.pdf 本书是《超大规模集成电子学微结构科学》的第三册．本册集中介绍了集成电路工艺中精细图形的成形和转换技术．全书共六章，前五章分别阐述了普通紫外光、电子束、X线和离子束光刻及等离子刻蚀方面的基本内容和进展，还介绍了精细图形的测量问题；最后一章介绍了精细粒子情况下的材料、物理和化学问题． 叁号仓库 2022年07月19日 0 点赞 0 评论 5671 浏览
