超大规模集成电子学 : 微结构科学. 第2册.pdf 本书是《超大规模集成电子学 微结构科学》的第二册。全书共六章，分别介绍了用于超大规模集成电路中的一些器件和介质材料的特征、电学性质、物理限制及检测与分析方法． 本书可供从事大规模和超大规模集成电路研制和生产的研究人员、工程技术人员及大专院校有关专业师生、研究生参考． 叁号仓库 2022年07月17日 0 点赞 0 评论 3934 浏览
超大规模集成电子学 : 微结构科学. 第1册.pdf 本书主要介绍用于超大规模集成电路中的有关材料的性质及材料的理化检测技术．全书共四章，分别介绍了材料的电学特性、物理缺陷及杂质行为等方面的检测技术；硅材料中的有害点缺陷和晶体应变在化学上、结构上、电学上的各种行为以及各种消除有害效应的措施；各种过渡金属硅化物的形成工艺及特性分析．在 叁号仓库 2022年07月17日 0 点赞 0 评论 4386 浏览
