热学微系统技术.pdf
本书围绕热科学前沿领域内近年来发展迅速的微系统技术，集中阐述一些典型微器件的基本原理及研究方法，并剖析了相应主题上若干可供探索的途径和新方向。
微系统
微系统封装技术概论.pdf
本书以微电子封装和集成技术为重点，融合了MEMS封装技术、射频系统封装技术、光电子封装技术，介绍了微系统封装设计基础技术、厚薄膜精细加工技术等相关内容。
微系统和纳米技术.pdf
微系统和纳米技术，是微米纳米技术的两个重要组成，既有区别又有联系，是一个新兴的多学科交叉的科技领域。本书由40多位国内外著名专家学者分章撰写，分为微系统和纳米科学技术基础、微系统技术、纳米技术、应用问题、发展和展望等五个部分，共26章。。