脉冲激光沉积动力学原理.pdf 本书介绍作者提出的能自洽描述全沉积过程的统一动力学模型,并逐一研究各工艺阶段的热动力学的规律,阐述有关的最新研究成果:基于局域守恒定律的等离子体的新演化模型,羽辉演化的近场、中场和原场行为的研究,包含热源项、蒸发项、吸收率动态变化和非傅里叶效应的综合烧蚀模型,薄膜的蒙特卡罗研究和 叁号仓库 2022年07月21日 0 点赞 0 评论 8325 浏览