射频等离子体物理学.pdf 本书针对微电子工业中的材料处理工艺（如半导体芯片加工），介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特性，涉及目前最重要的三种射频等离子体源（单频及多频电容耦合，电感耦合，螺旋波耦合）及其关联性。书中也论述了低温高密度等离子体在微电子器件制备等领域应用的最新进展及相关技术问题。 叁号仓库 2022年07月16日 0 点赞 0 评论 6811 浏览
电动力学.pdf 本书是在作者近些年讲授电动力学课程的基础上编写的，系统阐述了电磁场的基本概念、基本理论和解决电磁场问题的基本方法. 本书共八章，包括矢量场分析、静电场、静磁场、电磁现象的普遍规律、电磁波的传播、电磁波的辐射、狭义相对论基础、运动带电粒子的电磁辐射. 书后附有习题答案. 叁号仓库 2023年01月14日 0 点赞 0 评论 7711 浏览
