金刚石膜粒子探测器材料.pdf 本书系统介绍了金刚石膜材料的物理性能、制备工艺技术以及材料与光电探测器件的关系和原理。其物理性能包括膜的结构、表面、界面及掺杂对热和光电性能的影响；制备工艺技术包括不同材质的衬底处理，详尽地描述了微波等离子体和热丝辅助化学气相沉积法制备金刚石膜的工艺及各种检测分析技术；从半导体器 叁号仓库 2022年09月14日 0 点赞 0 评论 2448 浏览
