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纳米结构的薄膜和涂层功能特性.pdf

本书首先介绍功能薄膜大尺度制作与加工的化学途径,纳米复合材料薄膜的制作与表征。其次讲解了低维纳米复合材料的制作及其应用,硅纳米晶的光学和光电子学特性。最后介绍了可控微/纳米结构薄膜和器件,微系统应用的薄膜形状记忆合金等内容。