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用于恶劣环境的碳化硅微机电系统.pdf
本书主要内容包括碳化硅微机电系统(SiCMEMS)介绍，用于碳化硅MEMS的沉积技术，近年来碳化硅的研究相关进展，碳化硅的干法腐蚀，碳化硅MEMS的设计、性能和应用等。
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