微系统封装技术概论.pdf 本书以微电子封装和集成技术为重点,融合了MEMS封装技术、射频系统封装技术、光电子封装技术,介绍了微系统封装设计基础技术、厚薄膜精细加工技术等相关内容。 叁号仓库 2022年07月16日 0 点赞 0 评论 5661 浏览
TSV三维集成理论、技术与应用 金玉丰,马盛林 著.pdf 后摩尔时代将硅通孔(through silicon via,TSV)技术等先进集成封装技术作为重要发展方向。本书系统介绍作者团队在TSV三维集成方面的研究工作,包括绪论、TSV工艺仿真、TSV工艺、TSV三维互连电学设计、三维集成微系统的热管理方法、三维集成电学测试技术、TSV转 叁号仓库 2024年02月20日 0 点赞 0 评论 1392 浏览