酸洗缓蚀剂

电子电镀铜柱及其酸洗缓蚀剂技术.pdf

《电子电镀铜柱及其酸洗缓蚀剂技术》共6章,主要针对电镀前处理(酸洗)和电镀铜柱(定向电镀)制作技术,以电沉积金属和腐蚀电化学理论为基础,陈述了三唑化合物作为酸洗缓蚀剂的评价方法、缓蚀机理等,针对电镀铜柱制作特点系统地阐释了整平剂、加速剂和抑制剂之间的协同交互作用规律以及电镀填盲孔