机电系统机内测试降虚警技术.pdf
本书针对机电系统机内测试广泛存在的虚警问题进行了系统的论述：对虚警的产生原因、机理及表现形式进行深入分析和建模；根据机电系统监控与诊断的特点，从基于征兆的监控诊断虚警、基于模型的监控诊断虚警和时间应力导致的虚警等角度，详细阐述了虚警抑制和降虚警的原理、模型和技术方法；给出了降虚警
机电系统
光机电系统手册 : 技术和应用 : techniques and applications.pdf
本书涵盖光机电一体化系统的基本要素和应用，通过介绍光机电技术的定义、技术基础和应用领域，使读者综合了解光机电一体化系统及其在总体系统性能中的作用和协同效应等。
微纳机电系统与微纳传感器技术.pdf
本书对微纳机电系统与微纳传感器领域的主要技术进行了分类阐述，全面总结了技术的发展现状，客观分析了技术的发展态势，从学科的发展规律和研究特点出发，前瞻性地思考了技术的发展思路与发展方向，提出了我国发展该学科的资助机制与政策建议。
机电系统多领域集成设计.pdf
机电系统的设计过程，已经成为一个由多学科领域共同参与和开发的流程。尽管目前主流的机电系统集成设计方法已经针对机电系统的多领域集成设计展开了研究，但是集成设计过程中多领域设计人员协作和交互、多领域数据管理和集成等问题，已经成为目前机电系统集成设计亟待解决的问题。 本书从应用角度出发，聚焦于目前机电系统集成设计面临的两大问题，即“设计流程集成问题”和“设计数据集成问题”展开讨论。力图从基本概念、原理
机电系统可靠性工程.pdf
本书从理论与应用结合的角度，对机电系统可靠性的基本理论、主要技术和应用方法进行系统阐述，涵盖电子产品可靠性设计与分析、机械产品可靠性设计与分析等内容。
微机电系统(MEMS)制造技术.pdf
本书共9章，分别介绍了MEMS制造技术发展历程和发展趋势、MEMS制造材料基础、MEMS制造中的沾污及洁净技术、MEMS制造中的图形转移技术、湿法腐蚀与干法刻蚀技术、氧化扩散与注入、薄膜制备技术、MEMS标准工艺和MEMS封装技术。
生物微机电系统 : [英文本] | BioMEMS影印版.pdf
本书对生物微系统进行了简单的回顾，并把微纳米技术广泛渗透到生物和医学领域。
微机电系统设计 : 建模、仿真与可视化.pdf
本书建立了一种微电子机械器件的设计方法，对现有设计系统功能作了一些重要的补充和完善，其基本思路是在设计阶段，当版图和工艺设计完成后，通过建立运动部件的动态模型，进行三维可视化仿真，形成器件在虚拟环境中运行，从而对器件的运动功能进行评测。
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