微光机电系统.pdf
本书第一篇介绍微光机电系统在各领域中的应用，即开关、反射镜阵列、显示器等；第二篇介绍微光机电系统中应用的光学原理，即光的反射与折射、干涉、衍射等；第三篇介绍材料、制造、封装等。
机电系统
用于恶劣环境的碳化硅微机电系统.pdf
本书主要内容包括碳化硅微机电系统(SiCMEMS)介绍，用于碳化硅MEMS的沉积技术，近年来碳化硅的研究相关进展，碳化硅的干法腐蚀，碳化硅MEMS的设计、性能和应用等。
机电系统分析动力学及其应用.pdf
本书主要从演绎分析的角度给出机电耦联系统的分析与应用方法，建立力学问题与电路、电磁场相结合的模型方法，研究机电耦联的相互作用和工程应用。
射频微机电系统的理论、设计、制备及应用.pdf
本书分析和阐述传输线、天线、可调电感、可变电容、开关、滤波器、移相器等核心器件的基本原理、主要类型、设计方法、加工技术、性能测试和典型应用等，为读者勾勒出射频微机电系统技术较为全面的技术基础、研究现状和发展趋势。
基于半定量信息的复杂机电系统健康状态评估与预测 张邦成,尹晓静,周志杰 著.pdf
复杂机电系统健康状态评估与预测具有重要的理论研究意义及工程应用价值。《基于半定量信息的复杂机电系统健康状态评估与预测》基于半定量信息 (包含定性知识和部分定量信息)，开展一类具有小样本特征的复杂机电系统健康状态评估与预测建模方法研究，提出基于置信规则库理论的复杂机电系统健康状态评
机电系统自动控制：欠驱动吊运系统的控制方法设计、分析及应用 方勇纯等 著.pdf
本书系统地介绍了欠驱动吊运系统的动力学建模与分析、运动规划、智能控制方面最前沿的进展与研究成果，研究对象涵盖陆地吊运系统、海上船用吊运系统、空中无人机吊运系统。实际吊运系统的工作环境非常复杂，未知因素繁多，工作任务多样，目前仍存在许多亟待解决的瓶颈问题，包括：如何兼顾效率与物理约
微机电系统动力学.pdf
本书共分7章，主要内容包括：微机电系统及微机电系统动力学科学问题的发展背景、现状和未来的介绍；微驱动原理及尺度效应、微机电系统动力学相关理论基础的概述等。
微机电系统设计 : 建模、仿真与可视化.pdf
本书建立了一种微电子机械器件的设计方法，对现有设计系统功能作了一些重要的补充和完善，其基本思路是在设计阶段，当版图和工艺设计完成后，通过建立运动部件的动态模型，进行三维可视化仿真，形成器件在虚拟环境中运行，从而对器件的运动功能进行评测。