新天地

微小世界里的新天地 : 神奇的薄膜.pdf

本书共12章,介绍了薄膜的生产、特性以及应用,内容包括制备薄膜的重要环境条件——真空、薄膜的制备、薄膜特有的性质、增强基板与薄膜结合的技术、等离子体在薄膜制备中的重要性等。