多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用 | 2版.pdf
本书重点阐述多晶硅薄膜的基本性质及工艺机理，还包括多晶硅薄膜在MOS集成电路和双极集成电路中的应用等内容。
多晶硅
低温多晶硅(LTPS)显示技术.pdf
本书从低温多晶硅基本特征、可靠性、制备工艺到低温多晶硅面板开发现状与遇到的挑战，分三部分进行了介绍，第1部分LTPS结构，第2部分低温多晶硅技术开发与现状，第3部分新一代显示技术开发。