直拉硅单晶生长过程建模与控制.pdf
本书内容包括：绪论、硅单晶生长原理、直拉硅单晶生长设备、直拉硅单晶热系统建模与设计实现、磁场环境下直拉硅单晶生长原理与实现、晶体生长过程关键变量的检测与信息处理、晶体生长过程控制原理与方法、全自动单晶炉自动控制系统设计与实现。
单晶生长
泡生法蓝宝石单晶生长工艺与技术.pdf
本书系统总结了泡生法生长蓝宝石单晶的原理方法与关键技术。在介绍泡生法的基础知识、热场设计原则和典型生长工艺的基础上，系统总结了作者多年从事泡生法蓝宝石单晶生长的相关研究成果和工作经验，结合实例着重对真空系统、热场、工艺和电控系统等技术问题展开讨论。
直拉硅单晶生长过程数值模拟与工艺优化.pdf
本书是作者长期从事直拉硅单晶生长过程数值模拟与工艺优化研究的总结。书中在概述硅单晶发展前景、主要生长设备及关键工艺的基础上，介绍直拉硅单晶生长过程数值模拟方法、工艺流程与参数设置、热系统设计与制造等方面的内容；从介观层面阐述多物理场耦合作用对晶体生长的影响，并给出关键工艺参数选取