三维集成电路

硅通孔与三维集成电路.pdf

本书系统讨论了基于硅通孔的三维集成电路设计所涉及的一些关键科学问题,包括硅通孔寄生参数提取、硅通孔电磁模型、新型硅通孔结构、三维集成互连线、三维集成电路热管理、硅通孔微波/毫米波特性、碳纳米硅通孔及集成互连线等,对想深入了解硅通孔和三维集成电路的工程人员和科研人员具有很强的指导意