微纳制造 : [英文本] | Micro and nanomanufacturing影印版.pdf 本书全面阐述了微纳器件的设计和制造方面的知识,以及在设计和制造时所要考虑的诸多因素。书中涵盖了多种制造技术,包括微纳制造技术、体和表面微加工技术、LiGA技术、薄膜沉积技术、纳加工技术等。 叁号仓库 2022年09月11日 0 点赞 0 评论 2679 浏览