现代高纯气体制取、分析与安全使用.pdf 本书从高纯气体与集成电路等的关系说明气体纯度的重要性。集成电路的制造包括成膜、刻蚀、掺杂和注入、平衡及清洗等，无不需要各种高纯气体。高纯气体的制取是本书的核心。 叁号仓库 2022年07月16日 0 点赞 0 评论 557 浏览
