MEMS强链及其应用.pdf MEMS强链也称MEMS密码锁，是一种用于高风险系统的高可靠性安全保障的微机电装置。本书对UQS密码生成、MEMS强链总体设计、轴向磁场微步进电机、三维非硅准LIGA为主的MEMS强链加工工艺等进行了详尽的阐述。 叁号仓库 2022年09月12日 0 点赞 0 评论 372 浏览
