超大集成电路技术 : 工艺评价.pdf
本书以半导体集成电路制作工艺的监测、检查及反馈为主要内容，深入探讨了工艺技术与物理化学的联系．全书共十一章，分别介绍了集成电路生产中的评价技术和控制方法、应用气相生长进行器件制作的工艺过程中控制和评价，以及应用最新的表面研究方法进行的工艺评价．同时，还介绍了干法工艺的监控法、用测
超大
超大规模集成电路 : 基础·设计·制造工艺.pdf
本书介绍VLSI的特征及作用、VLSI的设计、逻辑电路、逻辑VLSI、半导体存储器、集成工艺、平板印刷、刻蚀、氧化、不纯物导入、绝缘膜堆积等内容。
超大规模集成电子学 : 微结构科学. 第3册.pdf
本书是《超大规模集成电子学微结构科学》的第三册．本册集中介绍了集成电路工艺中精细图形的成形和转换技术．全书共六章，前五章分别阐述了普通紫外光、电子束、X线和离子束光刻及等离子刻蚀方面的基本内容和进展，还介绍了精细图形的测量问题；最后一章介绍了精细粒子情况下的材料、物理和化学问题．
程序设计语言与超大规模集成电路.pdf
本书前两章讨论了现有的软件中的重要概念,后三章介绍了面向目标的程序设计语言-Smalltalk-80语言,执行Smalltalk-80的虚拟机器及有效地实现虚拟机器的微处理器的设计。
超大变幅水头水轮机稳定运行关键技术研究及应用 李洪等 著.pdf
本书开展了紫坪铺高水头电站机组在电调基于水调运行原则的水轮机安全可靠运行关键技术研究，密切关注紫坪铺高水头大变幅水轮机的安全运行，对电站水轮机的水力特性、结构特性及运行可靠性等关键技术进行了联合研究（特别是紫坪铺水电站机组超大变幅运行水头全流道多工况空化数值模拟研究），探索了机组
超大规模集成电子学 : 微结构科学. 第1册.pdf
本书主要介绍用于超大规模集成电路中的有关材料的性质及材料的理化检测技术．全书共四章，分别介绍了材料的电学特性、物理缺陷及杂质行为等方面的检测技术；硅材料中的有害点缺陷和晶体应变在化学上、结构上、电学上的各种行为以及各种消除有害效应的措施；各种过渡金属硅化物的形成工艺及特性分析．在
纳米级CMOS超大规模集成电路可制造性设计.pdf
本书内容包括：CMOSVLSI电路设计的技术趋势；半导体制造技术；光刻技术；工艺和器件的扰动和缺陷分析与建模；面向可制造性的物理设计技术；测量、制造缺陷和缺陷提取；缺陷影响的建模和合格率提高技术；物理设计和可靠性；DFM工具和DFM方法等。
超大容量硬盘的流场性能研究（英文）.pdf
本书结合多物理场有限元建模仿真、流体力学理论建模与算法求解、蒙特卡罗与分子动力学模拟方法，跨尺度系统研究了超大容量硬盘超低磁头飞行高度条件下磁头的飞行稳定性问题。主要内容包括：硬盘内部流体与颗粒运动特性、悬臂梁的流致振动及PZT声压抑制振动、颗粒污染物在磁头空气轴承面上的运动吸附
超大城市生态空间格局和功能评估技术与方法：基于上海市的实证研究.pdf
本书综合采用遥感反演、 地面调查及模型模拟等技术手段, 以上海市为案例调查分析了超大城市扩张的生态环境效应, 运用景观生态学技术解析讨论了城市土地覆被及生态空间格局特征, 并结合典型生态空间的生态过程及功能监测, 测算评估了气温调节、 生境维持、 固碳释氧等重要生态功能, 进而分