表面分析

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半导体器件的发展需要更深入地了解半导体等固体表面的物理、化学等性质.近年来已研究出一系列用于固体表面分析的手段,其中最有效的主要有离子探针显微分析、俄歇电子能谱、X射线光电子能谱及紫外光电子能谱法.本书从实际应用的观点出发,以取得最必要的表面资料为重点,具体叙述这些方法的基础、测

反射高能电子衍射在薄膜生长中的表面分析.pdf

本书以固态薄膜表面为研究对象,主要论述了反射高能电子衍射在监测薄膜生长中的应用。本书从表面晶体学和表面结构形貌分析的原理与方法出发,基于反射电子衍射原理,介绍了其衍射图案的标定、强度振荡及在薄膜生长动力学中的定量分析,最后还总结了近年来反射高能电子衍射的一些新应用。