固体薄膜材料与制备技术.pdf
本书共分10章，内容包括：薄膜的特征、真空技术基础、等离子体技术基础、薄膜的物理气相沉积、化学气相沉积、膜厚和沉积速率的测量、低介电常数薄膜材料等。
薄膜材料
电子薄膜材料.pdf
电子薄膜是微电子技术和光电子技术的基础．本书全面系统地论述薄膜材料的电性能及应用，论述对材料所实行的分子设计和原子设计，以及如何从原子、分子水平来控制材料的成分、结构和性能等．主要内容包括：高T↘↘c↙↙超导薄膜、导电薄膜、电阻薄膜、半导体薄膜、介质薄膜、磁性薄膜、压电薄膜、热电
类金刚石碳基薄膜材料.pdf
本书是一部系统论述类金刚石碳基薄膜研究和应用中有关理论与技术的专著。本书在描述类金刚石碳基薄膜的定义、分类、制备方法及其应用的前提下，介绍了元素掺杂类金刚石碳基薄膜、新型结构碳基纳米复合薄膜以及薄膜的摩擦学性能、机械性能、化学和热稳定性、光电磁功能、生物医学特性等方面的研究进展，
类金刚石碳基薄膜材料.pdf
本书在描述类金刚石碳基薄膜的定义、分类、制备方法及其应用的前提下，介绍了元素掺杂类金刚石碳基薄膜、新型结构碳基纳米复合薄膜以及薄膜的摩擦学性能、机械性能、化学和热稳定性、光电磁功能、生物医学特性等方面的研究进展，并提出了相应的性能提升途径和思路。
薄膜材料 : 应力、缺陷的形成和表面演化.pdf
本书总结了过去几十年里薄膜材料的研究进展。系统介绍了薄膜应力和基底曲率、各向异性和图形薄膜中的应力、脱层和断裂等诸多问题。