等离子体

射频等离子体物理学.pdf

本书针对微电子工业中的材料处理工艺(如半导体芯片加工),介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特性,涉及目前最重要的三种射频等离子体源(单频及多频电容耦合,电感耦合,螺旋波耦合)及其关联性。书中也论述了低温高密度等离子体在微电子器件制备等领域应用的最新进展及相关技术问题。

激光等离子体推进技术.pdf

本书共分为四章,第一章针对激光等离子体推进领域的研究进展进行了全面阐述,特别是对激光等离子体推进技术的工作原理、工作模式、靶的设计、靶动量探测方法、各种能量吸收机制等进行了总结和探讨。第二章在对激光击穿大气产生的冲击波进行分析的基础上,对常见靶材产生的等离子体的冲量进行了实验测量

等离子体物理基础.pdf

本书介绍了物质的气态、液态、固态之外的第四态——高温之下的等离子体。书中较详细地阐述了等离子体的性质、运动规律、研究等离子体物理所采用的方法等。后半部的主要篇幅介绍了高温等离子体与受控核聚变的密切联系和等离子体的技术应用,以及等离子体与天体物理的关系。 本书可供具

等离子体科学与财富创造.pdf

本书汇集了等离子体的基本介绍及其广泛应用,内容涉及等离子体在新能源、新材料制备、超硬涂层、高分子薄膜表面改性、表面清洗、表面灭菌、纺织应用、微电子制造、光伏制造、废气和废水治理、智能玻璃、等离子体光源和显示、循环经济等众多领域。

电弧等离子体.pdf

本书白俄罗斯科学院西伯利亚分院理论与应用力学研究所朱可夫院士领衔编著,全面介绍了朱可夫院士团队在电弧等离子体炬的特性、设计及应用等领域的研究成果,是对其四十多年研究工作的总结。全书共11章。第1.2章阐述电弧等离子体恒的原理及等离子体炬电极中的电物理和气体动力学过程;第3

低温等离子体物理及技术.pdf

低温等离子体物理是研究各种形式(直流、高频等)放电的原理及弧柱性质的学科.它与基础研究有着密切的关系,同时又有广泛的工业应用.本书共分三部分,第一部分介绍低温等离子体的一般性质及诊断技术,第二部分叙述各种放电的设备、原理及实验数据,最后一部分阐述放电的理论计算.全书叙述简明扼要,