等离子体物理

等离子体物理与聚变能.pdf

本书分为两大部分,共16章组成。第一部分论述能源问题,诸如聚变能的产业、攻率平衡等;第二部分讲述聚变能发展所面临的基本等离子体物理学问题,包括宏观平衡和稳定、输运和加热等问题。

射频等离子体物理学.pdf

本书针对微电子工业中的材料处理工艺(如半导体芯片加工),介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特性,涉及目前最重要的三种射频等离子体源(单频及多频电容耦合,电感耦合,螺旋波耦合)及其关联性。书中也论述了低温高密度等离子体在微电子器件制备等领域应用的最新进展及相关技术问题。

物理学词典. 等离子体物理学分册.pdf

本书是《物理学词典》分册之一,收集了有关等离子体物理学专业名词413条,并对这些名词的基本概念作了简要的解释。每条词后还附有相应的英文名称。为了便于查阅,书末附有英文索引和汉语拼音索引。 本书可供有关专业的大专院校师生、研究工作者及有关工程技术人员使用。