用于恶劣环境的碳化硅微机电系统.pdf
本书主要内容包括碳化硅微机电系统(SiCMEMS)介绍，用于碳化硅MEMS的沉积技术，近年来碳化硅的研究相关进展，碳化硅的干法腐蚀，碳化硅MEMS的设计、性能和应用等。
碳化硅
碳化硅复合材料反射镜及支撑结构材料.pdf
C纤维增强的SiC陶瓷基复合材料（C/SiC）是21世纪初逐步发展起来的一类新型空间光机结构材料，适合制备大口径光学反射镜和支撑结构，是新型高分辨率空间相机光机结构材料的发展方向之一。 本书简要介绍了空间光机结构材料的发展现状，C/SiC复合材料光学反射镜及支撑结构材料的性能
碳化硅晶体生长与缺陷.pdf
本书是国家重点项目《PVT法碳化硅晶体生长与缺陷研究》的系统总结，内容包括碳化硅晶体的多型结构与表征、碳化硅晶体的物理气相输运法生长等。
碳化硅宽带隙半导体技术.pdf
本书介绍了碳化硅宽带隙半导体的基本性质，晶体及薄膜生长技术，器件工艺以及在高温、高频、大功率器件等领域的应用，同时也对金刚石以及CaN基Ⅲ-Ⅴ族氮化物半导体作了简单介绍。
先驱体转化法制备碳化硅纤维.pdf
碳化硅（SiC）纤维是一种细直径、高强度、高模量、耐高温氧化的陶瓷纤维，是高性能复合材料，特别是耐高温陶瓷基复合材料的增强纤维之一。国防科技大学在国内最早开展先驱体转化制备SiC纤维研究，研发了第一代、第二代、第三代、吸波型等系列SiC纤维产品并攻克了系列化SiC纤维的关键技术。
碳/碳复合材料高温抗氧化碳化硅/复合陶瓷涂层.pdf
本书主要介绍了采用包埋法、涂刷法和原位形成法等方法制备碳/碳复合材料高温抗氧化碳化硅/复合陶瓷涂层，在温度1773K和1873K下进行了静态自然对流空气中的氧化试验，并用扫描电镜、X射线衍射仪和能谱等手段分析了涂层在氧化前后的物相组成、显微结构以及形貌特征，对涂层的失效机理进行了
碳化硅光学反射镜超精密加工的基础理论与方法.pdf
本书重点介绍碳/碳化硅(C/SiC)、硅/碳化硅(Si/SiC)两相涂层、化学气相沉积碳化硅(CVD SiC)、反应烧结碳化硅(RB SiC)和烧结碳化硅(S SiC)等5种典型国产SiC光学材料光学面形加工的基础理论和工艺。
碳化硅微纳纤维.pdf
微纳纤维的制备及其应用是科学研究的前沿和热点之一。碳化硅微纳纤维具有耐高温、耐腐蚀、抗氧化、强度高以及载流子迁移速率快等优点，是一种具有广阔应用前景的结构与功能材料。本书较为全面地总结了作者十多年来在碳化硅微纳纤维及其应用方面的研究成果，系统介绍了常规SiC超细纤维、多孔SiC超