电子制造

微电子制造技术实验教程.pdf

本书以微电子器件制造过程为主线,重点阐述学生在微电子制造技术学习中必须掌握的基础知识和实验方法。第1、2章介绍清洗、氧化、扩散、离子注入、光刻、刻蚀、沉积等相关制造工艺的基础知识和基础实验,详细阐述各项单步工艺的实验原理、实验设备、实验方法和步骤。第3章介绍微电子器件制造过程中的

柔性电子制造:材料、器件与工艺.pdf

本书针对柔性显示、能源、传感等新型电子器件高效高精制造需求,从材料、器件与工艺等方面系统介绍了柔性电子制造的前沿研究领域及其进展,主要内容包括:柔性电子的功能材料、柔性功能器件、柔性电子力学与表征、薄膜沉积与器件封装、微纳图案化工艺、卷到卷制造系统以及柔性电子技术应用与展望。