申强

硅微机械陀螺误差建模理论与方法 申强等 著.pdf

《硅微机械陀螺误差建模理论与方法》共9章,以硅微机械陀螺为研究对象,通过数学物理方程推导微机电系统宏模型,采用对称拓扑设计微机械陀螺结构,制订简单、高效的工艺加工微机械陀螺,根据精密控制、电学知识设计微机械陀螺测控电路,从而阐明硅微机械陀螺误差产生机理,并为减小误差提供研究思路。