泡生法

泡生法蓝宝石单晶生长工艺与技术.pdf

本书系统总结了泡生法生长蓝宝石单晶的原理方法与关键技术。在介绍泡生法的基础知识、热场设计原则和典型生长工艺的基础上,系统总结了作者多年从事泡生法蓝宝石单晶生长的相关研究成果和工作经验,结合实例着重对真空系统、热场、工艺和电控系统等技术问题展开讨论。