杨希光

薄膜的基本技术.pdf

全书共分七章,比较通俗地介绍了薄膜的基本制作技术,重点阐述制作薄膜所需要的各种真空设备的基础知识、真空蒸镀方法、溅射方法、膜厚测量及制造薄膜有关的其他技术.书中附有许多图表,书末有两个附录.这是一本比较系统而又实用的薄膜工艺技术参考书. 本书可供光学、电学、磁学和