微纳米技术及其应用.pdf 本书在概述了微机电系统技术的发展背景、现状及其应用前景的基础上，论述了MEMS基本理论基础，并对MEMS相关工艺做了详细的介绍。 叁号仓库 2022年07月18日 0 点赞 0 评论 4662 浏览
