机电系统

微机电系统(MEMS)制造技术.pdf

本书共9章,分别介绍了MEMS制造技术发展历程和发展趋势、MEMS制造材料基础、MEMS制造中的沾污及洁净技术、MEMS制造中的图形转移技术、湿法腐蚀与干法刻蚀技术、氧化扩散与注入、薄膜制备技术、MEMS标准工艺和MEMS封装技术。

机电系统可靠性工程.pdf

本书从理论与应用结合的角度,对机电系统可靠性的基本理论、主要技术和应用方法进行系统阐述,涵盖电子产品可靠性设计与分析、机械产品可靠性设计与分析等内容。

机电系统多领域集成设计.pdf

机电系统的设计过程,已经成为一个由多学科领域共同参与和开发的流程。尽管目前主流的机电系统集成设计方法已经针对机电系统的多领域集成设计展开了研究,但是集成设计过程中多领域设计人员协作和交互、多领域数据管理和集成等问题,已经成为目前机电系统集成设计亟待解决的问题。  本书从应用角度出发,聚焦于目前机电系统集成设计面临的两大问题,即“设计流程集成问题”和“设计数据集成问题”展开讨论。力图从基本概念、原理

微纳机电系统与微纳传感器技术.pdf

本书对微纳机电系统与微纳传感器领域的主要技术进行了分类阐述,全面总结了技术的发展现状,客观分析了技术的发展态势,从学科的发展规律和研究特点出发,前瞻性地思考了技术的发展思路与发展方向,提出了我国发展该学科的资助机制与政策建议。

机电系统机内测试降虚警技术.pdf

本书针对机电系统机内测试广泛存在的虚警问题进行了系统的论述:对虚警的产生原因、机理及表现形式进行深入分析和建模;根据机电系统监控与诊断的特点,从基于征兆的监控诊断虚警、基于模型的监控诊断虚警和时间应力导致的虚警等角度,详细阐述了虚警抑制和降虚警的原理、模型和技术方法;给出了降虚警