机电系统

微机电系统(MEMS)制造技术.pdf

本书共9章,分别介绍了MEMS制造技术发展历程和发展趋势、MEMS制造材料基础、MEMS制造中的沾污及洁净技术、MEMS制造中的图形转移技术、湿法腐蚀与干法刻蚀技术、氧化扩散与注入、薄膜制备技术、MEMS标准工艺和MEMS封装技术。

机电系统可靠性工程.pdf

本书从理论与应用结合的角度,对机电系统可靠性的基本理论、主要技术和应用方法进行系统阐述,涵盖电子产品可靠性设计与分析、机械产品可靠性设计与分析等内容。

射频微机电系统的理论、设计、制备及应用.pdf

本书分析和阐述传输线、天线、可调电感、可变电容、开关、滤波器、移相器等核心器件的基本原理、主要类型、设计方法、加工技术、性能测试和典型应用等,为读者勾勒出射频微机电系统技术较为全面的技术基础、研究现状和发展趋势。

机电系统分析动力学及其应用.pdf

本书主要从演绎分析的角度给出机电耦联系统的分析与应用方法,建立力学问题与电路、电磁场相结合的模型方法,研究机电耦联的相互作用和工程应用。

机电系统机内测试降虚警技术.pdf

本书针对机电系统机内测试广泛存在的虚警问题进行了系统的论述:对虚警的产生原因、机理及表现形式进行深入分析和建模;根据机电系统监控与诊断的特点,从基于征兆的监控诊断虚警、基于模型的监控诊断虚警和时间应力导致的虚警等角度,详细阐述了虚警抑制和降虚警的原理、模型和技术方法;给出了降虚警