机电系统
机电系统分析动力学及其应用.pdf
本书主要从演绎分析的角度给出机电耦联系统的分析与应用方法，建立力学问题与电路、电磁场相结合的模型方法，研究机电耦联的相互作用和工程应用。
射频微机电系统的理论、设计、制备及应用.pdf
本书分析和阐述传输线、天线、可调电感、可变电容、开关、滤波器、移相器等核心器件的基本原理、主要类型、设计方法、加工技术、性能测试和典型应用等，为读者勾勒出射频微机电系统技术较为全面的技术基础、研究现状和发展趋势。
机电系统可靠性工程.pdf
本书从理论与应用结合的角度，对机电系统可靠性的基本理论、主要技术和应用方法进行系统阐述，涵盖电子产品可靠性设计与分析、机械产品可靠性设计与分析等内容。
微机电系统(MEMS)制造技术.pdf
本书共9章，分别介绍了MEMS制造技术发展历程和发展趋势、MEMS制造材料基础、MEMS制造中的沾污及洁净技术、MEMS制造中的图形转移技术、湿法腐蚀与干法刻蚀技术、氧化扩散与注入、薄膜制备技术、MEMS标准工艺和MEMS封装技术。
光机电系统手册 : 技术和应用 : techniques and applications.pdf
本书涵盖光机电一体化系统的基本要素和应用，通过介绍光机电技术的定义、技术基础和应用领域，使读者综合了解光机电一体化系统及其在总体系统性能中的作用和协同效应等。
生物微机电系统 : [英文本] | BioMEMS影印版.pdf
本书对生物微系统进行了简单的回顾，并把微纳米技术广泛渗透到生物和医学领域。
