机械电子学

光微机械电子学.pdf

本书以光学技术为主干,全面阐述了信息技术中所必需的光学、力学、精密机械、电子学等领域的基础知识及其相互融合产生的光微机械电子学技术。

微机械电子学.pdf

本书描述了微机械电子学领域中固态致动器装置的基础理论、实际应用材料、致动装置的设计、驱动/控制技术以及典型应用实例,讨论了该学科领域未来的发展趋势。