抛光

流体辅助微纳抛光原理与技术.pdf

本书详细阐述了适用于精密光学元件制造的流体辅助微纳抛光原理与技术,针对于每一种工艺方法进行了全方位的描述,涉及起源与发展、原理、优缺点、具体的加工设备以及相关的工艺。全书分为9章,分别介绍了磁介质辅助加工技术,以及磁流变、电流变、气射流、水射流、磁射流、浮法等抛光技术。