微传感器与微执行器全书.pdf
本书共分九章，涉及了MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上对典型器件和系统的设计与工艺进行了详细的介绍。
执行器
执行器技术：微机电方法 | 影印版.pdf
执行器是将电能转换成机械能的装置，通常用于电气、气动、液压系统。由于执行器技术在生物医学、人工器官修复、器械矫形中应用的需要，对高效且具有微纳米尺寸级别的复杂精密机械产品的需要不断增长。本书对执行器的新应用进行了全面的介绍，内容包括：介绍了压电执行器、形状记忆执行器、磁
超磁致伸缩材料微位移执行器原理与应用.pdf
本书系统地阐述了超磁致伸缩材料的材料与物理学基础、微位移执行器结构设计方法、建模理论、非线性控制技术以及超磁致伸缩薄膜的工作原理和静动态特性等，并介绍了各种超磁致伸缩材料微位移执行器的应用实例。