微机电系统

用于恶劣环境的碳化硅微机电系统.pdf

本书主要内容包括碳化硅微机电系统(SiCMEMS)介绍,用于碳化硅MEMS的沉积技术,近年来碳化硅的研究相关进展,碳化硅的干法腐蚀,碳化硅MEMS的设计、性能和应用等。

微机电系统动力学.pdf

本书共分7章,主要内容包括:微机电系统及微机电系统动力学科学问题的发展背景、现状和未来的介绍;微驱动原理及尺度效应、微机电系统动力学相关理论基础的概述等。

微机电系统设计 : 建模、仿真与可视化.pdf

本书建立了一种微电子机械器件的设计方法,对现有设计系统功能作了一些重要的补充和完善,其基本思路是在设计阶段,当版图和工艺设计完成后,通过建立运动部件的动态模型,进行三维可视化仿真,形成器件在虚拟环境中运行,从而对器件的运动功能进行评测。

射频微机电系统的理论、设计、制备及应用.pdf

本书分析和阐述传输线、天线、可调电感、可变电容、开关、滤波器、移相器等核心器件的基本原理、主要类型、设计方法、加工技术、性能测试和典型应用等,为读者勾勒出射频微机电系统技术较为全面的技术基础、研究现状和发展趋势。

微机电系统(MEMS)制造技术.pdf

本书共9章,分别介绍了MEMS制造技术发展历程和发展趋势、MEMS制造材料基础、MEMS制造中的沾污及洁净技术、MEMS制造中的图形转移技术、湿法腐蚀与干法刻蚀技术、氧化扩散与注入、薄膜制备技术、MEMS标准工艺和MEMS封装技术。