硅微机械陀螺误差建模理论与方法 申强等 著.pdf
《硅微机械陀螺误差建模理论与方法》共9章，以硅微机械陀螺为研究对象，通过数学物理方程推导微机电系统宏模型，采用对称拓扑设计微机械陀螺结构，制订简单、高效的工艺加工微机械陀螺，根据精密控制、电学知识设计微机械陀螺测控电路，从而阐明硅微机械陀螺误差产生机理，并为减小误差提供研究思路。
微机械
微机械光子学 : [英文本] | Micromechanical photonics影印版.pdf
本书系统论述了光学MEMS和微机械光子学，阐述了此领域的理论及实验结果，并介绍了多种器件及其应用。内容涉及激光二级管、共振传感器、光镊子等多种器件。
微机械电子学.pdf
本书描述了微机械电子学领域中固态致动器装置的基础理论、实际应用材料、致动装置的设计、驱动/控制技术以及典型应用实例，讨论了该学科领域未来的发展趋势。
电容式微机械超声换能器工作机理与应用基础.pdf
电容式微机械超声换能器（CMUT）具有许多优良特性和广阔的应用前景。本书系统地论述了CMUT及其阵列的设计、建模、分析与测试等相关理论与应用基础。主要内容包括CMUT工作原理与理论基础、CMUT建模与特性分析、CMUT阵列设计基础及其指向性分析、CMUT及其阵列的声场特性分析
光微机械电子学.pdf
本书以光学技术为主干，全面阐述了信息技术中所必需的光学、力学、精密机械、电子学等领域的基础知识及其相互融合产生的光微机械电子学技术。