纳机电基础效应与器件.pdf
本书论述了纳机电器件的基本概念、尺度效应和耦合问题，纳机电器件基础结构的制造、测试和表征方法，并对纳机电加速度传感器、纳机电声传感器、纳机电谐振器、微流体角速度传感器等典型纳机电器件进行了深入阐释。
张文栋
纳米传感器--物理、化学和生物传感器.pdf
Authoright translation from English language edition published by CRC Press,part of Taylor & Francis Group LLC;All rights reserved.本书原版由Tayl
微传感器与微执行器全书.pdf
本书共分九章，涉及了MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上对典型器件和系统的设计与工艺进行了详细的介绍。