表面分析.pdf 半导体器件的发展需要更深入地了解半导体等固体表面的物理、化学等性质．近年来已研究出一系列用于固体表面分析的手段，其中最有效的主要有离子探针显微分析、俄歇电子能谱、X射线光电子能谱及紫外光电子能谱法．本书从实际应用的观点出发，以取得最必要的表面资料为重点，具体叙述这些方法的基础、测 叁号仓库 2022年07月15日 0 点赞 0 评论 2432 浏览
