微机电系统设计 : 建模、仿真与可视化.pdf 本书建立了一种微电子机械器件的设计方法，对现有设计系统功能作了一些重要的补充和完善，其基本思路是在设计阶段，当版图和工艺设计完成后，通过建立运动部件的动态模型，进行三维可视化仿真，形成器件在虚拟环境中运行，从而对器件的运动功能进行评测。 叁号仓库 2022年07月19日 0 点赞 0 评论 4567 浏览
